「SLM激光加工系统」与「振镜加工系统」两用光路案例共享

原有光路

01、实验布景

跟着精密激光加工需求的增长，如安在现存振镜系统基础上增多空间光调制器(SLM)算作加工诞生，搭建一套生动的双模式光路系统——既能单独使用振镜系统，又能零丁操作SLM系统，且在各自工况下互不搅扰，这一切的要津就在于给光路加装“切换开关”。本文将先容几种转变假想决策，探索如安在现存振镜光路中整合SLM光路，最终已毕双模式加工的褂讪、方便切换。

02、光路校正

校正灵感大比拼

念念路1：让SLM径直当镜子，光路不改

这招浮浅奸险，把SLM径直当“镜子”反射激光，不时用振镜加工。这个决策的最大优点等于“平移光路，稳如磐石”，统统不需要其他改革。

激光器波长：515nm

调换频率：600khz

脉冲宽度：800fs

光斑：30-50um，高斯光

单脉冲能量：125uJ

相关词，细节每每是要津场合——振镜加工所需的激光峰值功率密度远超出SLM的耐受阈值，导致SLM光路濒临过高功率密度的问题。字据琢磨，即使将激光光斑扩张至SLM的最大映照直径(12mm)，其峰值功率密度仍可达276.3MW/cm²，逾越SLM能承受的上限(由于800nm以下的双光子接管特色，SLM在30MW/cm²以上的功率密度无法承受)，即便通过能量衰减步地将峰值功率降至27.63MW/cm²，诚然可保证SLM的安全使用，但会影响振镜系统的加工能量需求，严重影响加工后果。

限度：径直PASS!

念念路2：分家!两套光路，分头并进

若是SLM和振镜合不来，那就分个“家”吧!让激光一出来就分红两束：一齐“直奔振镜”，另一齐“转向SLM”。这听上去没弊端，但在空间弥留的光学平台上安排分束光路，限度只然则——拥堵!

这里咱们料到一个“小妙招”：专揽平台上“爬升光路”。在原平台上增多第二层面包板，把SLM光路安排到“空中一层”——腾出更多空间。尽管这招灵验，但调理和后期提神冗忙，工程量也不小。

限度：诚然可行，但操作繁琐。

念念路3，共轴光路，翻转切换

说到“省空间、调光路”，共轴光路派上用场了。这里的要津假想是翻转镜和推拉镜，让SLM和振镜系整个用消除条光路!

● 巧用翻转镜和推拉镜

将45度反射镜和翻转镜架组合在一谈，在平台上交代45度反射镜，将光路偏转至共轴光路中。光路在过问SLM加工系统时，在SLM加工模式下，推入4f系统的透镜;切换至振镜模式时，移出4f透镜以形成原始光路。此假想灵验已毕了两种光路的无搅扰切换。——一键切换，光路丝滑流通!

● 定制4f系统

4f系统的两个透镜焦距需字据SLM与振镜的距离提前设定，确保两者光路的匹配度。由于SLM加工光路共用振镜系统的一部分旅途，4f系统的焦距设立需精确。若推行交代空间不及，可通过增多反射镜松懈蔓延4f的光路长度，从而更生动地稳妥空间布局需求。

● 焦平面保护“法宝”

高能激光的焦平面能量密度极高，尤其在大功率加工时，容易对光学镜片酿成挫伤。因此，通盘反射镜、透镜的摆放位置尽量祛除焦平面位置，让光路既高效又安全。

最终决策：切换解放的共轴光路!

基于上述念念路，最终光路假想为：元件移入光路时过问SLM加工模式，移出光路时为振镜模式。此双模式光路的已毕心仪了实验需求，操作流通、切换生动，一次实验中就能松懈已毕振镜和SLM单独使用的快速切换，真确作念到“一键变身”。

这么的光路校正小熟谙，最终为激光加工诞生已毕了“多功能切换”，不仅从简了诞生空间，还进步了切换效力。如斯生动的决策让这台激光诞生领有了“魔术变身”的才调，你学到了吗?

新品保举!700W蓝对持SLM

滨松引入了新式号700W蓝对持SLM，通过独有的散热技艺和蓝对持加抓，将LCOS的平均功率阈值从业界最高的200W以上一举飙升到了700W以上。实测功率密度逾越3127W/cm2。搭载了这一技艺的X15213-03CL在金属加工限制已毕了LCOS的又一紧要打破。

LCOS-SLM(空间光调制器)X15213 系列家具一览：

X15213系列提供等闲的家具威望，以心仪各式波长的需求。通盘类型齐配备一个具有抗反射涂层的玻璃基板和一个带有振镜的CMOS芯片。

保举光束直径 (1/e2) 为8mm或以上。

●铝镜型 (-01/-07/-08)

铝镜型专揽了 CMOS 芯片上铝电极的反射，具有较宽的反射波段，因此适用于较广的波长鸿沟。

●介电多层镜型 (-02/-03/-05/-12/-13/-15/-16/-19)

介电多层镜型的 CMOS 芯片名义上具有挑升假想的介电多层膜，可扶持各式波长的激光光源。与铝镜型比拟，介质镜已毕的反射率越高，里面接管率就越低。可已毕高光专揽率。

●水冷型 (-02L/-02R/-03L/-03R/-03BL/-03BR/-12L/-12R/-15L/-15R/-16L/-16R/-19L/-19R)

介电多层镜型的灯头具有内置水冷散热器，可扼制激光放射引起的升温，并已毕高功率解决才调。

●蓝对持型 (-03CR/-03CL)

除了水冷散热器外，蓝对持玻璃还用于玻璃基板。因此，散热效力得以改进，功率解决才调逾越700W。